Нанотехнологии и наноматериалы в радиоэлектронике: Учедное пособие

Автор: Казаков В.Д., «Нанотехнологии и наноматериалы в радиоэлектронике: Учедное пособие»: Рассматривается основное направление развития нанотехнологии в электронике. Сделан подробный обзор технологий получения наноматериалов: нанопорошков, углеродных нанотрубок, фуллеренов, графенов, кремния на изоляторе, фотонных кристаллов. Изложены основные свойства применяемых в наноэлектронике материалов; описаны методы применения их в полупроводниковых приборах и системах. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, разрабатывающих наноустройства.